А 61 Амеличев, В. А. Технологические особенности создания беспроводной магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения / В. А. Амеличев, Е. В. Благов, Р. О. Гаврилов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 13-15 : рис. - Библиогр.: с. 15 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАЛКА -- МЭМС МАГНИТОРЕЗИСТИВНАЯ -- СПОСОБ БЕСПРОВОДНОЙ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- РАДИОКАНАЛ -- МИКРОМАГНИТ -- УСКОРЕНИЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных работ по созданию совмещенной технологии изготовления магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения. Приведены результаты исследования совместимости технологических процессов объемной обработки кремния и формирования тонкопленочных магниторезистивных структур на одном кристалле. Рассмотрены возможности передачи по радиоканалу информационного сигнала магниторезистивной МЭМС контроля параметров движения |