И 88 Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана [Текст] / О. А. Агеев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 14-16 : рис. - Библиогр.: с. 16 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АНОДНОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ПЛЕНКИ -- ТИТАН |
Б 20 Балыкин, В. И. Нанолитография методами атомной оптики / В. И. Балыкин, П. Н. Мелентьев // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 7-8. - С. 68-85 : рис., табл. - Библиогр. : с. 84-85 (103 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЛИТОГРАФИЯ -- АТОМНАЯ ОПТИКА |
678 М 54 Методы нанолитографии. Достижения и перспективы [] : монография / Г. С. Константинова [и др.] ; [науч. ред. В. Н. Лозовский]. - Ростов н/Д : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. - Библиогр.: с. 110-111. - ISBN 978-5-903286-20-1 : 200.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--ПОЛИГРАФИЧЕСКОЕ ПРОИЗВОДСТВО |
541.1 С 77 Старостин, Виктор Васильевич. Материалы и методы нанотехнологии [] : учеб. пособие для вузов / В. В. Старостин ; под общ. ред. Л. Н. Патрикеева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008. - 431 с. : ил. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с. 424-426. - ISBN 978-5-94774-727-0 : 221.76 р.
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ ФИЗИКА--ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА--КРИСТАЛЛОГРАФИЯ ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ |
П 76 Применение виртуального растрового электронного микроскопа для определения диаметра проецирующей микролинзы атомного нанолитографа / А. В. Заболоцкий [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 2-7 : рис. - Библиогр. : с. 7 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): РЭМ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ -- ОПТИКА АТОМНАЯ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ |