И 35 Изготовление МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом / П. Е. Троян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 31-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МДМ-КАТОДЫ -- НАНООСТРИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ -- ВАХ -- ШАБЛОН ТЕМПЛЕЙТНЫЙ Аннотация: Предложены методы формирования наноострий на нижнем электроде МДМ-катода с помощью электронно-лучевой литографии и темплейтного шаблона. Получены структуры с наноостриями в виде пирамид и столбиков с плотностью 2-108 см-2. Для МДМ-катодов с наноострийным нижним электродом установлено возрастание эмиссионного тока на порядок по сравнению с катодом с гладким электродом |