Р 31 Реакция нанопорошков алюминия и алюмонитридной композиции с водой / Е. А. Глазкова, Н. В. Сваровская, О. В. Бакина, Е. Г. Хоробрая, А. С. Ложкомоев, М. И. Лернер // Нанотехника. - 2012. - № 2. - С. 32-35 : рис., табл. - Библиогр.: с. 35 6 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПОРОШКИ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- АЛЮМИНИЙ -- РЕАКЦИЯ С ВОДОЙ -- ОКСИГИДРОКСИД АЛЮМИНИЯ Аннотация: Изучены закономерности реакции нанопорошков алюминия и алюмонитридной композиции с водой. Показано влияние условий реакции на морфологию, фазовый состав и текстурные характеристики продуктов окисления. Установлено, что при окислении нанопорошков в жидкой среде образуются агломераты нанолистов оксигидроксида алюминия с высокой удельной поверхностью и пористостью. В паровой фазе образуются агломераты непористых пластинок. Показана возможность управления реакцией для получения продуктов с различной морфологией и фазовым составом |
Н 61 Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении |