С 25 Свойства и структура нанотолщинных слоев нитрида кремния, формируемых на поверхности полиимида низкотемпературным плазмохимическим синтезом / Д. Ю. Обижаев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 14-20 : рис., табл. - Библиогр. : с. 20 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД КРЕМНИЯ -- ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МИКРООБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ -- РЕЗОНАНС ЭЛЕКТРОННО-ЦИКЛОТРОННЫЙ |
Б 12 Бабуров, В. А. Исследование и разработка прецизионных конденсаторов, работающих в сантиметровом и миллиметровом диапазонах длин волн / В. А. Бабуров, А. Ю. Павлов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 36-39 : рис., табл. - Библиогр.: с. 39 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- КОНДЕНСАТОРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- S-ПАРАМЕТРЫ Аннотация: Представлены результаты разработки и измерений S-параметров тонкопленочных конденсаторов. Конденсаторы формируются на подложках из арсенида галлия. На основе полученных данных удалось с помощью специального программного обеспечения смоделировать конденсаторы различной топологии, работающие на частотах до 40 ГГц |
А 13 Абдуллаев, Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния / Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 17-19. - Библиогр.: с. 17 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ (ПХТ) -- СЕЛЕКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИД КРЕМНИЯ -- ПАССИВАЦИОННЫЕ СЛОИ -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА (ИМС) Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по определению параметров селективного плазмохимического травления нитрида кремния относительно оксида кремния |