У 59 Универсальная вакуумная установка ВММР-МЭШ для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков / В. С. Митин, В. К. Орлов, В. М. Сергеев, А. В. Митин, Н. Н. Краснобаев, Д. Д. Спиваков, О. И. Зиновьев // Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 88-101 : рис., табл. - Библиогр.: с. 101 (11 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВММР -- ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- НАНОПОКРЫТИЯ -- НАНОПОРОШКИ -- НАНОПОКРЫТИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ Аннотация: Предлагается инновационное оборудование высокомощного магнетронного распыления ВММР-МЭШ), обеспечивающее распыление с плотностью мощности плазменного разряда до 500 Вт/см 2 на плоских и до 1500 Вт/см 2 на коаксиальных (трубчатых) системах. Оборудование позволяет получать различные типы нанопокрытий, включая многослойные и нанопорошки на промышленном уровне. Описан эффект равноскоростного распыления различных материалов с мозаичных мишеней при высокомощном магнетронном распылении (ВММР). Показано, что предложенное оборудование существенно облегчает получение многокомпонентных нанопокрытий с желаемыми свойствами и обеспечивает существенные технические и экономические преимущества по сравнению с другими методами РVD. Представлены примеры полученных нанопродуктов |