И 88 Использование имплантации ионов водорода и последующего высокотемпературного отжига для уменьшения дефектности эпитаксиального кремния на сапфире / П. А. Александров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 30-32 : рис., табл. - Библиогр. : с. 32 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИМПЛАНТАЦИЯ -- КРЕМНИЙ-НА-САПФИРЕ -- ОТЖИГ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ |
И 88 Сивков, А. А. Исследования продукта плазмодинамического синтеза системы С-N после высокотемпературного отжига / А. А. Сивков, А. Я. Пак, И. А. Рахматуллин // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 50-55 : рис., табл. - Библиогр. : с. 55 (19 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИНТЕЗ ПЛАЗМОДИНАМИЧЕСКИЙ -- ТЕРМОГРАФИЯ -- ОТЖИГ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ -- НИТРИД УГЛЕРОДА Аннотация: Приведены результаты поисковых исследований ультрадисперсного продукта, синтезированного в гиперскоростной струе углеродной электроразрядной плазмы в азотной атмосфере, методами электронной сканирующей и просвечивающей микроскопии, термографии и ИК-Фурье спектроскопии. Исследования проведены с целью очистки продукта от примесных углеродных фаз и оценки термостойкости ковалентного нитрида углерода |