Н 61 Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении |