У 67 Управляемый синтез тонких стекловидных пленок / И. А. Аверин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 23-25. - Библиогр. : с. 25 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ СТЕКЛОВИДНЫЕ -- МАТРИЦЫ ПОРИСТЫЕ -- МЕТОД ЗОЛЬ-ГЕЛЬ-ТЕХНОЛОГИЯ Аннотация: Представлены качественные и количественные закономерности процессов синтеза тонких пленок методом золь-гель-технологии, установленные на основе теоретических моделей и экспериментов. Показано влияние на морфоструктуру поверхности пленок температуры отжига, видов растворителей, типов подложек. Выработана методика синтеза пленок для чувствительных элементов газовых сенсоров на основе ортокремниевой кислоты |