С 72 Спирин, В. Г. Анализ технологических погрешностей сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 42-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПОГРЕШНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ |