И 88 Исслелование самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием / А. А. Ковалевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 14-19 : ил. - Библиогр. : с. 19 (12 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКЛАСТЕРЫ -- ПЛЕНКА -- ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ -- ГЕРМАНИЙ |