648.4 А 47 Алексенко, Андрей Геннадьевич. Основы микросхемотехники [] : учебное пособие / А. Г. Алексенко. - 3-е изд. - М. : Лаборатория Базовых Знаний: ФИЗМАТЛИТ: ЮНИМЕДИАСТАЙЛ, 2002. - 448 с. : ил. - (Технический университет). - Библиогр.: с. 438-442. - Указ.: с. 443-448. - ISBN 5-94774-002-8 : 136.40 р. РУБ 648.4 Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ Кл.слова (ненормированные): МИКРОПРОЦЕССОРЫ (ОСНОВЫ) -- МИКРОСХЕМОТЕХНИКА (РАДИОЭЛЕКТРОНИКА) -- МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ -- НАНОСТРУКТУРЫ (ПРИМЕНЕНИЕ) -- НАНОТЕХНИКА (ОСНОВЫ) -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА (ПРИМЕНЕНИЕ) -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ (СХЕМЫ) -- РАДИОТЕХНИКА (ОСНОВЫ) -- СТАБИЛИЗАТОРЫ ИМПУЛЬСНЫЕ -- СТАБИЛИЗАТОРЫ ЛИНЕЙНЫЕ -- СХЕМОТЕХНИКА (ЭЛЕКТРОНИКА) -- СХЕМЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ (ОСНОВЫ) -- ТРАНЗИСТОРЫ БИПОЛЯРНЫЕ (ЭЛЕКТРОНИКА) -- ТРИГГЕРЫ -- УСИЛИТЕЛИ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ |
И 88 Использование сверхмногослойных наноструктур для прямого преобразования ядерной энергии в электрическую [Текст] / В. Б. Ануфриенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 30-38 : рис., табл. - Библиогр.: с. 37-38 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВТОРИЧНЫЕ ЭЛЕКТРОНЫ -- ПРЯМОЕ ПРЕОБРАЗОВАНИЕ -- МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛЫ Аннотация: Рассмотрено применение нанотехнологий для решения одной из проблем прямого преобразования ядерной энергии в электрическую, минуя тепловую стадию преобразования. Установлено, что применение тонких слоев (толщина в десятки нанометров) в ячейке преобразователя ядерной энергии в электрическую позволяет примерно на два порядка повысить КПД преобразователя, работающего на вторичных электронах, по сравнению с ячейкой с "толстыми слоями". Обоснована целесообразность изготовления гибридных источников тока, включающих в себя преобразователи энергии на вторичных электронах и суперконденсаторы |
К 44 Кислев, Г. Измерение силовых напряжений в тонких пленках на основе микрокантилеверных преобразователей [Текст] / Г. Кислев, И. Яминский // Наноиндустрия. - 2008. - № 5. - С. 28-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (10 назв.) . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИММУНОХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ -- МИКРОКАНТИЛЕВЕРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- БИОХИМИЯ |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем. |
Р 69 Романько, В. А. Перспективы создания высокоэффективных термоэлектрических преобразователей энергии из нанопорошков полупроводниковых материалов / В. А. Романько // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 34-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПОРОШКИ -- ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЭНЕРГИИ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ |
С 25 Свойства и структура нанотолщинных слоев нитрида кремния, формируемых на поверхности полиимида низкотемпературным плазмохимическим синтезом / Д. Ю. Обижаев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 14-20 : рис., табл. - Библиогр. : с. 20 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД КРЕМНИЯ -- ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МИКРООБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ -- РЕЗОНАНС ЭЛЕКТРОННО-ЦИКЛОТРОННЫЙ |
648.4 C 58 Circuits at the Nanoscale: Communications, Imaging, and Sensing [Text] : научное издание / ed. by K. Iniewski. - Boca Raton [et al.] : CRC Press : Taylor & Francis, 2009. - XIII, 619 p. : il. - Библиогр. в конце гл. - Указ.: с. 609-619. - ISBN 978-1-4200-7062-0 : 4902.00 р.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА |
А 67 Анизотропные магниторезистивные преобразователи на основе ферромагнитных нано- структур с различным содержанием кобальта / В. В. Амеличев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 22-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АНИЗАТРОПНЫЙ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- НАНОСТРУКТУРА ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ФЕРРОМАГНИТНАЯ Аннотация: Представлены результаты научных исследований и разработки анизотропных магниторезистивных преобразователей магнитного поля и тока на основе тонкопленочных металлических ферромагнитных наноструктур с различным содержанием кобальта |
С 51 Смолин, В. К. Тонкопленочные резистивные элементы первичных преобразователей датчиков / В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 16-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (53 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕГИСТОР -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРВИЧНЫЕ Аннотация: Дан обзор конструкторско-технологических особенностей выполнения элементов первичных преобразователей датчиков различного функционального назначения, использующих в качестве чувствительных элементов тонкопленочные резисторы |
М 59 Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах / Д. В. Гусев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОАВТОМАТИКА -- ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассматриваются конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики |
М 61 Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления: итоги двадцатипятилетия / И. В. Годовицын [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 29-41 : рис., табл. - Библиогр. : с. 41 (31 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ Аннотация: Проведен анализ разработок в области миниатюрных тензорезистивных преобразователей давления с 1985 года по настоящее время. Показано основное отличие миниатюрных преобразователей давления от традиционных - формирование мембраны с помощью осаждения - и вытекающие из этого конструктивно-технологические особенности миниатюрных преобразователей. Проанализированы достоинства и недостатки миниатюрных преобразователей давления. Даны характерные примеры применений миниатюрных преобразователей давления. Показана необходимость увеличения чувствительности миниатюрных преобразователей давления для повышения их привлекательности как средства измерения |
В 19 Васильев , В. А. Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур / В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЧАСТОТНЫЕ Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей |
Г 59 Годовицын, И. В. Перспективная конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления / И. В. Годовицын // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 2-8 : рис., табл. - Библиогр. : с. 8 (32 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОбРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ Аннотация: Предлагается конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления на КНИ-структуре. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из полиметаллического кремния, что позволяет совместить в конструкции достоинства традиционных и миниатюрных преобразователей давления - высокую чувствительность и маленькие габаритные размеры. Доведен расчет основных параметров преобразователя с помощью конечно-элементного моделирования. Доведен анализ параметров предложенного преобразователя в сравнении с преобразователями других типов |
М 61 Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью / И. В. Головицын, В. В. Амеличев, В. В. Панков, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29 : рис., табл. - Библиогр.: с. 29 (19 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов |
М 33 Матвеев, В. И. Наносенсоры для матричных преобразователей приборов неразрушающего контроля / В. И. Матвеев, С. В. Пугачев // Нанотехника. - 2012. - № 2. - С. 89-92 : рис. - Библиогр.: с. 92 (5 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОСЕНСЕРЫ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПРИБОРЫ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАТРИЧНЫЕ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРИБОРОВ Аннотация: В статье рассматривается состояние развития сенсорных преобразователей, изготавливаемых на основе современных нанотехнологий, необходимых для создания приборов неразрушающего контроля и технической диагностики нового поколения. Применение наносенсоров в матричных преобразователях повышает основные технические характеристики приборов: чувствительность, разрешающую способность и производительность контроля |
Э 94 Эффективные люминесцентные солнечные концентраторы на основе малодефектных органических стекол, содержащих новый цианопорфиразиновый комплекс иттербия / И. С. Григорьев, Л. Г. Клапшина, С. А. Лермонтова, В. В. Семенов, В. М. Треушников, В. В. Треушников, S. Clement, Б. А. Бушук, W. E. Douglas // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 9-10. - С. 53-58 : рис., табл. - Библиогр.: с. 58 (5 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОНЦЕНТРАТОРЫ СОЛНЕЧНЫЕ ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ -- КОМПЛЕКС ИТТЕРБИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- КОМПОЗИЦИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНАЯ ПОЛИМЕРНАЯ Аннотация: Разработана фотоотверждаемая полимерная люминесцентная композиция, допированная новым тетра(4-фторфенил)тетрацианопорфиразиновым комплексом иттербия, способным эффективно поглощать и переизлучать свет в широком диапазоне спектра. Полученные на основе этой композиции бездефектные органические стекла использовались в качестве волноводов для создания лабораторных моделей люминесцентного солнечного концентратора. Результаты испытаний созданных моделей показали возможность получения стационарных концентраторов солнечной энергии для фотоэлектрических преобразователей, по крайней мере не уступающих по своим характеристикам лучшим мировым образцам подобных устройств |
К 82 Корляков, А. В. Критерии и оптимизация параметров вибродатчиков / А. В. Корляков, Е. М. Устинов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 35-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТРАНСФОРМАТОР МЕХАНИЧЕСКИЙ -- ВИБРОДАТЧИКИ -- КРИТЕРИЙ ОПТИМИЗАЦИИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Аннотация: Рассматриваются способы одновременного расширения диапазона частот и повышения чувствительности вибродатчиков, содержащих в своей конструкции механические преобразователи (трансформаторы). Рассмотрены варианты применения механических преобразователей, отмечены их преимущества и недостатки. Указаны критерии оптимизации, которые следует учитывать при разработке подобных устройств |
Т 33 Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н. С. Землянников, Н. Л. Данилова, В. В. Панков, В. С. Суханов, Ю. А. Михайлов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 32-36 : рис., табл. - Библиогр.: с. 36 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ КРЕМНИЕВЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ -- КРИСТАЛЛ ЧЭ ДАВЛЕНИЯ -- МОДУЛЬ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАВЛЕНИЯ (ЧЭД) Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по микроэлектронной технологии на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны преимущества разработанных преобразователей давления в сравнении с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром |
И 88 Исследование микросистемы с использованием преобразователей магнитного поля / С. В. Никифоров, С. А. Поломошнов, Р. Д. Тихонов , А. А. Черемисинов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 36-37 : рис. - Библиогр.: с. 37 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- СИСТЕМА МИКРОЭЛЕКТРОМАГНИТНОМЕХАНИЧЕСКАЯ -- МЭММС -- МИКРОМАГНИТ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЯ -- УСТРОЙСТВО МЕХАТРОННОЕ Аннотация: Проведено исследование макета микросистемы мехатронного устройства, изготовленного на магнитотранзисторных преобразователях. Установлено, что микросистема мехатронного устройства с кремниевой консолью, микромагнитом и магнитотранзисторным преобразователем позволяет проводить контроль микроперемещений и вибраций по изменению магнитного поля на резонансных частотах консоли с микромагнитом |