М 61 Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления: итоги двадцатипятилетия / И. В. Годовицын [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 29-41 : рис., табл. - Библиогр. : с. 41 (31 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ Аннотация: Проведен анализ разработок в области миниатюрных тензорезистивных преобразователей давления с 1985 года по настоящее время. Показано основное отличие миниатюрных преобразователей давления от традиционных - формирование мембраны с помощью осаждения - и вытекающие из этого конструктивно-технологические особенности миниатюрных преобразователей. Проанализированы достоинства и недостатки миниатюрных преобразователей давления. Даны характерные примеры применений миниатюрных преобразователей давления. Показана необходимость увеличения чувствительности миниатюрных преобразователей давления для повышения их привлекательности как средства измерения |
Т 33 Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н. С. Землянников, Н. Л. Данилова, В. В. Панков, В. С. Суханов, Ю. А. Михайлов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 32-36 : рис., табл. - Библиогр.: с. 36 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ КРЕМНИЕВЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЕ -- КРИСТАЛЛ ЧЭ ДАВЛЕНИЯ -- МОДУЛЬ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАВЛЕНИЯ (ЧЭД) Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по микроэлектронной технологии на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны преимущества разработанных преобразователей давления в сравнении с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром |