С 25 Свойства и структура нанотолщинных слоев нитрида кремния, формируемых на поверхности полиимида низкотемпературным плазмохимическим синтезом / Д. Ю. Обижаев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 14-20 : рис., табл. - Библиогр. : с. 20 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД КРЕМНИЯ -- ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МИКРООБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ -- РЕЗОНАНС ЭЛЕКТРОННО-ЦИКЛОТРОННЫЙ |