Т 33 Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа / В. С. Суханов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТИП МЕМБРАННЫЙ Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца |