Д 25 Двухканальный емкостной преобразователь ускорений / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 46-48 : рис., табл. - Библиогр. : с. 48 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- АКСЕЛЕРОМЕТРЫ ЕМКОСТНЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УСКОРЕНИЙ |