Л 87 Лучинин, В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники / В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 3. - С. 31-43 : табл., рис. - Библиогр. : с. 43 ( 8 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СХЕМА ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- ПРЕПАРИРОВАНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- КРИСТАЛЛ Аннотация: Внедрение процесса реинжиниринга в современную электронную промышленность предполагает разработку новых методик исследования объектов микротехники, а значит, применения новых технологических и аналитических методов препарирования в целях контроля топологии исследуемых систем. В работе наряду с разрушающими методами препарирования, такими как механическое вскрытие изделий микротехники с последующим удалением структурообразующих слоев, рассмотрены неразрушающие методы исследования с возможностью сохранения работоспособности системы для дальнейшего электрического анализа |