Т 21 Тарнавский, Г. А. Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью / Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 21-24. - Библиогр. : с. 24 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: МАТЕМАТИКА--ТЕОРИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ И МАТЕМАТИЧЕСКАЯ СТАТИСТИКА Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПРИМЕСИ ДОНОРНЫЕ -- ПРИМЕСИ АКЦЕПТОРНЫЕ |