Т 21 Тарнавский, Г. А. Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины / Г. А. Тарнавский, С. С. Чесноков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПРИМЕСИ ДОНОРНЫЕ И АКЦЕПТОРНЫЕ -- НАНОКОЛОННЫ РЕЛЬЕФА Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности |