А 94 Афонин, С. М. Гармоническая линеаризация гистерезисных характеристик пьезоактюатора нано - и микроперемещений / С. М. Афонин // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 3. - С. 49-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (11 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГАРМОНИЧЕСКАЯ ЛИНЕАРИЗАЦИЯ -- ГИСТЕРЕЗИСНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ -- ПЬЕЗОАКТЮАТОР -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ |
М 74 Моделирование датчика вибраций на сдвиговом пьезоэффекте / В. Н. Митько, А. А. Панич [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-19 : рис. - Библиогр. : с. 19 (1 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ СДВИГОВЫЙ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Рассматривается датчик вибраций на сдвиговом пьезоэффекте. В качестве чувствительных элементов датчика используется Y-срез пьезокристаллов лангатата. Методом конечных элементов рассчитывается виброчувствительность датчика |
Т 58 Тополов, В. Ю. Пьезоэффект и анизотропия электромеханических свойств новых 1-0-3-композитов на основе сегнетопьезокерамики / В. Ю. Тополов, С. Е. Филиппов, А. А. Воронцов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 13-19 : рис., табл. - Библиогр. : с. 19 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОМПОЗИТ ПЬЕЗОАКТИВНЫЙ -- ОТКЛИК ГИДРОСТАТИЧЕСКИЙ -- КОЭФФИЦИЕНТ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СВЯЗИ -- СЕГНЕТОПЬЕЗОКЕРАМИКА -- АНИЗОТРОПИЯ СВОЙСТВ Аннотация: Предложена структура композита типа 1-3, состоящего из системы сегнетопьезокерамических стержней, обуженных гетерогенной матрицей "сегнетопьезокерамика - полимер" со связностью 0-3. анализе электромеханических свойств данного композита установлено существенное влияние анизотропии модулей упругости матрицы на пьезочувствительностъ, гидростатический отклик, параметры приема и коэффициенты электромеханической связи. Доведено прогнозирование эффективных параметров и их анизотропии для композитов на основе сегнетомягкой (ПКР-7М) и анизотропной сегнетожесткой (типа РbTiO3) керамик |
П 96 Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля на основе планарной биморфной структуры с возбуждающей электромагнитной катушкой / А. А. Сопильняк [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 33-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- КАТУШКА ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЗБУЖДАЮЩАЯ -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ ПЛАНАРНАЯ -- ДАТЧИК РЕЗОНАНСНЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СИЛА АМПЕРА -- ЦИРКОНАТ- ТИТТАНАТ СВИНЦА Аннотация: Описан пьезоэлектрический датчик постоянных магнитных полей на основе планарной биморфной структуры из цирконата титаната свинца, возбуждаемый электромагнитной катушкой. Датчик использует силу Ампера, пьезоэффект и резонанс изгибных колебаний структуры для увеличения выходного напряжения. Датчик имеет чувствительность ~250 В/(А-Тл) и линейную зависимость выходного напряжения от поля в диапазоне полей ~10-5...0,3 Тл. Разработана методика расчета характеристик датчика |
О-62 Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах / Д. Г. Громов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ZNO -- СОПРОТИВЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МЭМС-УСТРОЙСТВА Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды |
П 96 Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля с планарной возбуждающей катушкой / Д. А. Бурдин, Ю. К. Фетисов, Д. А. Чашин, Н. А. Экономов, Е. М. Савченко // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 37-40 : рис. - Библиогр.: с. 40 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ДАТЧИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАНСНЫЙ -- СИЛА АМПЕРА -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- ПЛАСТИНА БИМОРФНАЯ -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК Аннотация: Изготовлен и исследован пьезоэлектрический датчик постоянного магнитного поля, использующий комбинацию силы Ампера, пьезоэффекта и акустического резонанса. Датчик представляет собой биморфную пластину из цирконата-титаната свинца, один конец которой закреплен, а на другом расположена планарная электромагнитная катушка. При пропускании через катушку тока с частотой, равной частоте изгибных колебаний пластины, пьезоэлектрик генерирует переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна постоянному полю. Датчик имеет чувствительность ~200 В/(А • Тл) в диапазоне полей ~10 -7...0,3 Тл и диапазоне температур 220...370К |
П 96 Пьезоэлектрический датчик магнитного поля на основе камертона с биморфными элементами / С. А. Даниличев, С. В. Лебедев, Ю. К. Фетисов, Д. В. Чашин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 33-35 : рис. - Библиогр.: с. 35 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ДАТЧИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- ЭЛЕМЕНТЫ БИМОРФНЫЕ -- СИЛА АМПЕРА -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА Аннотация: Исследован датчик постоянных магнитных полей на основе камертона с биморфными элементами из пьезокерамики цирконата титаната свинца, возбуждаемый переменным электрическим током. Датчик использует силу Ампера, пьезоэффект и резонанс акустических колебаний камертона для повышения чувствительности. Датчик имеет чувствительность до 450 В/(А • Тл) и линейную зависимость выходного напряжения от тока и магнитной индукции в диапазоне от ~10 -6 до 0,3 Тл |