П 76 Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире [Текст] / П. А. Александров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 54-56 : рис. - Библиогр.: с. 56 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТВЕРДОФАЗНАЯ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ ИОНОВ -- КИСЛОРОД -- КРЕМНИЙ -- САПФИР |
М 74 Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники / Т. Б. Теплова , О. М. Гридин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-23 : рис., табл. - Библиогр. : с. 23 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ТВЕРДЫЕ -- ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ КВАЗИПЛАСТИЧНАЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Аннотация: В настоящее время появляется значительный интерес к использованию в микроэлектронике очень твердых кристаллических материалов, таких как сапфир или алмаз. Для их применения требуется высококачественная обработанная поверхность с минимальной дефектностью подповерхностного слоя. Квазипластичное послойное разрушение сверхтонких слоев в твердых материалах их обработке было исследовано в наших экспериментах |