Р 25 Раткин , Л. С. Современные технологии проектирования, конструирования и производства нано-и микроэлектромеханических систем / Л. С. Раткин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 2-5. - Библиогр.: с. 5 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СПЕКТР ШИРОКИЙ АСПЕКТНЫХ ОТНОШЕНИЙ -- СВЧ СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ С ЭЛЕМЕНТАМИ МЭМС НА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРАХ -- СИСТЕМЫ ВИБРОАКУСТИЧЕСКИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КАНАЛ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ИНФОРМАЦИОННЫЙ -- ИНФОРМАТИКА КВАНТОВАЯ -- НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- НЭМС -- РАН Аннотация: На состоявшейся 29 февраля 2012 г. научной сессии Отделения нанотехнологий и информационных технологий (ОНИТ) Российской академии наук (РАН) рассматривалась проблематика проектирования, конструирования и производства наноэлектромеханических и микроэлектромеханических систем (НЭМС и МЭМС). Особое внимание уделялось технологиям глубокого плазменного травления структур МЭМС с широким спектром аспектных отношений, созданию виброакустических микромеханических систем с волоконно-оптическим информационным каналом, квантовой информатике НЭМС, сверхвысокочастотным (СВЧ) системам на кристалле с элементами МЭМС на наногетероструктурах в арсениде галлия и технологическим основам создания микропреобразователей параметров движения на принципах переноса массы и заряда в электрохимических микросистемах |