Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем. |
В 14 Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (анадитический обзор) Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем / П. Г. Бабаевский, С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 3-12. - Библиогр.: с. 12 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН -- СОЕДИНЕНИЕ ПЛАСТИН -- РАЗРЕЗАНИЕ -- ВАКУУМНОЕ КАПСУЛИРОВАНИЕ Аннотация: Данный обзор посвящен обобщенному анализу способов и проблем вакуумплотного корпусирования сенсорных МЭМС, в первую очередь, соединения элементов корпусов и подложек, их разделения, формирования электрических выводов, контактов и соединений, обеспечения, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях. Первая часть обзора посвящена обобщенному анализу особенностей и возможностей наиболее эффективных процессов соединения кремниевых пластин между собой и с пластинами из других материалов, разрезания пластин и вакуумного капсулирования МЭМ ЧЭ в рабочих полостях. Анализ показывает, что наибольшие возможности при производстве вакуумплотных сенсорных МЭМС обеспечивает использование металлических соединительных слоев, в первую очередь, из эвтектических сплавов золота и низкотемпературных припоев |
В 14 Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС / П. Г. Бабаевский , С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 3-11. - Библиогр.: с. 11 (21 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ НА УРОВНЕ ПЛАСТИН -- ТОНКОСЛОЙНОЕ КАПСУЛИРОВАНИЕ -- ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ВЫВОДЫ -- КОНТАКТЫ -- МЕЖСОЕДИНЕНИЯ -- СОЕДИНИТЕЛЬНЫЕ СЛОИ -- ГАЗОПОГЛОТИТЕЛИ -- МЕМБРАННЫЕ СЕНСОРЫ -- СЕНСОРЫ ПИРАНИ -- БАЛОЧНЫЕ РЕЗОНАТОРЫ Аннотация: Часть 2 обзора посвящена методам и проблемам формирования вакуумплотных электрических выводов к контактным площадкам, сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях МЭМС, а также общим тенденциям развития технологии корпусирования сенсорных МЭМС, направленным на уменьшение размеров корпусов за счет использования новых материалов и процессов для соединения пластин, а также на компьютеризацию моделирования, проектирования, производства, испытания и оценки надежности и жизнеспособности С МЭМС в единой системе обеспечения их жизненного цикла |