У 18 Уваров, И. В. Резонансные свойства многослойных металлических нанокантилеверов / И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 29-32 : рис. - Библиогр.: с. 32 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ -- НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- СИСТЕМЫ НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- РЫЧАГ СВЕТОВОЙ -- ШЕРОХОВАТОСТЬ Аннотация: Исследованы резонансные свойства трехслойных металлических кантилеверов, имеющих толщину 40 нм. Были изготовлены два типа кантилеверов: Cr—Al—Cr и Ti—Al—Ti. Резонансные частоты кантилеверов определялись по экспериментально полученным резонансным кривым. Возбуждение колебаний кантилеверов осуществлялось электрическими силами, для регистрации колебаний применялся метод светового рычага. Экспериментально получены зависимости первой и второй резонансных частот кантилеверов от длины и ширины. Проведен анализ экспериментальных данных, а также сравнение с результатами расчетов. Обсуждается связь резонансных свойств с формой и материалом нанокантилеверов |