М 54 Метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 24-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАНДАРТНАЯ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ Аннотация: Предложен метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Рассмотрены пути симметрирования тепловых потоков и геометрических, физико-химических характеристик элементов конструкции при воздействии симметричного и асимметричного относительно оси упругого элемента НиМЭМС нестационарного температурного поля. Предложены конкретные реализации их элементов конструкций |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИМЭМС -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕМПЕРАТУРА -- КРИТЕРИЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |