К 65 Конструкция чувствительных элементов на малые давления с повышенной перегрузочной способностью / Н. С. Землянников, Н. Л. Данилова, В. В. Панков, В. С. Суханов, Р. О. Гаврилов, Ю. А. Михайлов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 8-10 : рис. - Библиогр.: с. 10 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СПОСОБНОСТЬ ПЕРЕГРУЗОЧНАЯ -- МЕМБРАНА СЛОЖНОПРОФИЛИРОВАННАЯ КРЕМНИЕВАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ ДАВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ -- СПОСОБНОСТЬ ПЕРЕГРУЗОЧНАЯ Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления со сложнопрофилированной кремниевой мембраной, изготовленных по микроэлектронной технологии. Показаны конструктивные решения, использованные в чувствительных элементах избыточного давления для обеспечения повышенной перегрузочной способности |