О-75 Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра на кни-структурах / С. П. Тимошенков, С. А. Анчутин, В. Г. Рубчиц, Н. М. Зарянкин, А. И. Виноградов, И. С. Дернов, Е. С. Кочурина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 10-14 : рис., граф. - Библиогр.: с. 13 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ -- КПП-СТРУКТУРЫ -- МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- МОДАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ -- СТАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ -- НОМИНАЛЬНЫЕ ЕМКОСТИ Аннотация: Рассмотрены особенности конструкции чувствительного элемента (ЧЭ) микромеханического акселерометра на КПП-структурах, представлены результаты расчета конструкции: проведен модельный, статический анализ, а также расчет номинальных значений емкостей ЧЭ. Изложены особенности технологии изготовления ЧЭ. Приведены результаты исследования опытных образцов чувствительного элемента микромеханического акселерометра |