О-11 О влиянии водорода на электрофизические свойства тонкопленочной структуры Ag/Wox/W с эффектом резистивных переключений / Р. И. Романов, В. В. Зуев, В. Ю. Фоминский, А. Г. Гнедовец, М. И. Алымов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 22-28 : рис. - Библиогр.: с. 28 (20 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВОДОРОД -- НАНОЧАСТИЦЫ -- ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫЕ -- СВОЙСТВА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ -- СТРУКТУРА ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ Ag/Wox/W -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТАМПЕРНЫЕ -- ОКСИД ВОЛЬФРАМА ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ AG/WOX/W Аннотация: Созданы тонкопленочные структуры на основе газочувствительного оксида вольфрама Ag/WOx/W, в которых наблюдался эффект биполярных резистивных переключений. Вольтамперные характеристики структур исследовались на воздухе лабораторной влажности, а затем анализировалось их изменение при подаче водорода в камеру до концентрации 2 % в воздухе. Проведен анализ химического состояния поверхностных слоев полученных структур методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Морфология и структурное состояние исследовались методами сканирующей атомно-силовой и электронной микроскопии, а также микрорамановской спектроскопии. Выраженная реакция на водород обнаружена в структуре Ag/WOx/W, подвергнутой дополнительной термической обработкена воздухе при 200 °С. Отжиг этой структуры вызывал формирование наночастиц серебра с оксидной оболочкой на поверхности оксида вольфрама. Образование наночастиц обуславливало изменение контактных свойств и обеспечивало эффективный доступ водорода к контактным областям, что проявилось в увеличении токопрохождения в низко- и высокорезистивных состояниях этой структуры. Сравнение реакции на водород структур WOx/W и Ag/WOx/W позволило предположить, что водород оказывал существенное влияние на механизм формирования проводящих серебряных нитей в оксидном слое и химическое состояние границы за счет изменения кинетики окислительно-восстановительных электрохимических процессов в контактных областях Ag/WOx. Представленные результаты иллюстрируют возможность получения датчиков водорода, функционирующих на новых физических принципах |