П 76 Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире [Текст] / П. А. Александров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 54-56 : рис. - Библиогр.: с. 56 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТВЕРДОФАЗНАЯ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ ИОНОВ -- КИСЛОРОД -- КРЕМНИЙ -- САПФИР |