К 59 Козлов, А. Г. Тепловые микросенсоры: конструктивные особенности [Текст] / А. Г. Козлов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 16-28 : рис. - Библиогр.: с. 26-28 (80 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОВЫЕ МИКРОСЕНСОРЫ -- ТЕПЛОГЕНЕРИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПЛЕНОЧНЫЕ ПРОВОДНИКИ |