О-93 Оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов / Д. В. Козлов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 22-25 : рис. - Библиогр. : с. 25 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР ТЕПЛОВОЙ -- БАЛКИ УПРУГОШАРНИРНЫЕ -- ПОЛИИМИД -- КРЕМНИЙ -- ТЕРМОДЕФОРМАЦИЯ НАЧАЛЬНАЯ И РАБОЧАЯ Аннотация: Предложена методика и проведена оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов после воздействия заданного числа циклов нагружения. Показано, что угол термодеформации при нагревании микроактюатора после усталостных циклических испытаний в течение 5-106 циклов снижается приблизительно на 15 %, а после 3,2-107 - на 25 %. Предложенная методика и полученные результаты дают возможность оценивать жизнеспособность актюаторов и стабильность их характеристик в процессе эксплуатации, а также влияние "старения" балок на эти характеристики |