Б 88 Бройко, А. П. Анализ теплового состояния микросенсора, созданного на основе тонкопленочных технологий / А. П. Бройко, О. С. Ленчук // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 45-48 : рис. - Библиогр.: с. 48 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСЕР -- СОСТОЯНИЕ ТЕПЛОВОЕ -- ТЕХНОЛОГИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ Аннотация: Представлен анализ теплового состояния микросенсора, изготовленного на основе тонкопленочных технологий. Рассмотрены модельные задачи о стационарном нагреве тонкой мембраны, нестационарном охлаждении тонкой мембраны, минимальной площади сенсора, связанной с флуктуационным пределом. Определено, что для воздуха, если тепловой сенсор работает на максимальных скоростях регистрации (т. е. порядка времени тепловой релаксации), его площадь не может быть меньше 400 нм 2 |