П 27 Амеличев, В. В. Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов / В. В. Амеличев, И. В. Годовицын, Д. А. Сайкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗОНАТОРЫ КРЕМНИЕВЫЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРООБРАБОТКИ КРЕМНИЯ -- КНИ-ПЛАСТИНЫ Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии |