Г 83 Гридчин, В. А. Численное моделирование микроэлектронного сенсора теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач, Р. П. Дикарева // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 13-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 ( 12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР -- ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Представлены упрощенная тепловая и конечно-элементная модели микpоэлектpонного сенсора теплового потока, обсуждены особенности констpукции. Определено тепловое сопpотивление и получены выpажения для выходного сигнала сенсоpа. Показано, что численное моделиpование точнее описывает хаpактеpистики по сpавнению с аналитической моделью. Доведено сpавнение модельных pасчетов с экспеpиментальными данными, котоpое подтвеpдило пpавильность моделей. Предложенная численная модель позволяет доводить оптимизацию хаpактеpистик сенсоpа |
Г 83 Гридчин, В. А. Калибровка термопар сенсора плотности теплового потока / В. А. Гридчин, О. В. Лобач // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОТОК ТЕПЛОВОЙ -- СЕНСОР -- КАЛИБРОВКА -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ Аннотация: Рассматривается калибровка термопар сенсора плотности теплового потока, содержащего профилированную кремниевую мембрану и термопары алюминий- поликремний, с помощью двух интегральных разогревающих резисторов, асимметрично расположенных относительно калибруемой термопары либо батареи термопар. Показана возможность определения линейного и квадратичного коэффициентов термоЭДС термопары и оценена эффективность предложенной конечно-элементной модели температурного поля чипа сенсора |