М 35 Матюшкин, И. В. Методика компарации способов коррекции оптических эффектов баизости при формировании топоаогии на фоторезисте / И. В. Матюшкин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12. - С. 5-10 : рис. - Библиогр. : с.10 (5 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОПОЛОГИЯ -- КОРРЕКЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЭФФЕКТОВ БЛИЗОСТИ -- ФОТОРЕЗИСТОР Аннотация: На основе САПР Synoрsys и MATLAB разработана методика компарации ОРС-методов. Дана математическая формулировка процедуры компарации, связанная с контурными метриками и учитывающая интерактивно-графический характер компаратора. Предложен метод базовой матрицы доведения компарации |
О-14 Обзор реализаций планарных встроенных антенн диапазона 5 ггц с минимальным объемом / П. П. Мальцев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 39-46 : рис. - Библиогр. : с. 46 (27 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АНТЕННА ПЛАНАРНАЯ -- АНТЕННА ВИБРАТОРНАЯ -- ИЗЛУЧАТЕЛЬ ЩЕЛЕВОЙ -- ТОПОЛОГИЯ ФРАКТАЛЬНАЯ Аннотация: Рассмотрены планарные методы построения вибраторных антенн, антенн с щелевыми излучателями, антенн с фрактальной топологией диапазона 5 ГГц в планарной реализации с учетом экономии объема антенны. Показано, что реализованные фрактальные топологии не обеспечивают существенного снижения объема для антенн данного класса. Минимум объема достигается оптимизацией формы сигнальных и земляных проводников и мест их соединения |