К 17 Калюжный, Д. Г. Использование сканирующего устройства для напыления углеродных нанопленок методом лазерной абляции / Д. Г. Калюжный, Р. Г. Зонов, Г. М. Михеев // Нанотехника. - 2010. - № 2. - С. 52-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (14 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ -- ПЛЕНКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- УСТРОЙСТВА СКАНИРУЮЩИЕ Аннотация: Показана возможность получения углеродных пленок на поверхности поддерживающих подложек методом лазерного испарения в вакууме, путем сканирования лазерного луча по поверхности неподвижной мишени. Пленки углерода наносились на кварцевые и стеклянные подложки. Скорость роста пленки 5,5 нм/мин. Были получены пленки толщиной от 20 нм до 3 мкм |