М 59 Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств / В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 30-34 : рис., табл. - Библиогр. : с. 34 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ПЛЕНКИ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- ПЛЕНКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ -- СИСТЕМА РАЗНОЧАСТОТНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ |
Н 61 Низкопотребляющие малогабаритные радиотехнические модули на основе микроэлектромеханических ключей / О. С. Бохов, М. П. Духновский, А. Б. Козырев, А. В. Корляков, А. Н. Королев, А. В. Лагош, В. В. Лучинин, С. И. Топталов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 60-71 : рис., табл. - Библиогр.: с. 71 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- МАТЕРИАЛЫ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- РЕШЕТКИ АНТЕННЫЕ ФАЗИРОВАННЫЕ -- КЛЮЧИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рaссмomрены особенности построения микроэлектромеханических (МЭМ) ключей различного принципа действия. Рaссмomрены особенности СВЧМЭМ ключей с использованием алмазоподобных материалов. Приведены разработанные модели ключей и проведен комплексный анализ их характеристик. Рассмотрены конструкции и технологии для производства МЭМ ключей. Представлены фазовращатели, созданные на базе МЭМ ключей для фазированных антенных решеток, и фазированные антенные решетки для различных частотных диапазонов на МЭМ ключах |