Т 98 Тютюгин, А. В. Формирование проводящих микровыводов методом жидкостной химической обработки для сборки кристаллов методом "флип-чип" / А. В. Тютюгин, С. А. Жукова, В. Е. Турков // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 26-31 : рис., граф. - Библиогр.: с. 31 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАМП -- ХИМИЧЕСКОЕ НИКЕЛИРОВАНИЕ -- "ФЛИП-ЧИП" Аннотация: Технологию "флип-чип" все более широко применяют в качестве метода соединения кристалла с подложкой. Однако для ускорения производства существует необходимость группового метода формирования проводящих межсоединений (бампов). Данное требование можно обеспечить благодаря применению методов химической обработки. Рассмотрены основные технологические особенности формирования соединений методом химического никелирования иммерсионного золочения на всех стадиях технологического процесса, а также проведено исследование влияния параметров раствора на морфологию поверхности образующихся межсоединений |