С 32 Серегин, Д. С. Влияние температуры кристаллизации на электрофизические свойства пленок цтс / Д. С. Серегин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 19-22 : рис., табл. - Библиогр. : с.22 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЗОЛЬ-ГЕЛЬ -- ПЛЕНКИ -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИК Аннотация: Исследовано влияние температуры отжига на электрофизические свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов. Образцы, кристаллизованные при температурах 600- 700 °C, имеют характерные для сегнетоэлектриков петли гистерезиса и ВФХ, при этом с ростом температуры отжига наблюдается снижение остаточной поляризации, прямоугольности петель гистерезиса, уменьшение токов утечки и некоторое возрастание электрической прочности |
В 58 Влияние методики приготовления пленкообразующих растворов на электрофизические свойства сегнетоэлектрических пленок цтс / Н. М. Котова, Ю. В. Подгорный [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 11-16 : рис., табл. - Библиогр. : с.16 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ -- ОСАЖДЕНИЕ ХИМИЧЕСКОЕ ИЗ РАСТВОРОВ -- АЛКОКСИД Аннотация: Исследовано влияние методики приготовления исходных компонентов в процессе синтеза пленкообразующих растворов на электрофизические свойства формируемых тонких пленок цирконата-титаната свинца. Установлено существенное влияние на свойства формируемых пленок природы вводимого циркониевого компонента. Показано, что наилучшие параметры пленок обеспечивает процесс с использованием спиртового раствора пропилата циркония |
З-63 Зинченко, С. П. Оптический in situ контроль синтеза наноразмерных пленок цирконата титаната свинца в камере газового разряда / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 5-6 . - С. 77-80 : рис. - Библиогр. : с. 80 (8 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИЙ IN SITU -- ПЛЕНКИ НАНОРАЗМЕРНЫЕ -- КАМЕРА ГАЗОВОГО РАЗРЯДА Аннотация: В работе приводятся результаты применения оптического in-situ контроля физического состояния напыляемых газоразрядным способом пленок цирконата титаната свинца Pb(ZrxTi1-х)O3 (ЦТС) на подложке из нержавеющей стали. Обнаружена осцилляторно-затухающая в процессе напыления зависимость интенсивности оптического излучения, отраженного от пленки на подложке. Кривая в значительной мере зависит от вводимой в разряд мощности и от типа получаемой пленки. Структура пленок исследовалась методом рентгеноструктурного анализа. На начальном этапе напыления формируется буферный переходной слой ЦТС со структурой пирохлора, который присутствует в неизменном виде в процессе дальнейшего напыления ЦТС пленки со структурой перовскита. Предложенный метод позволяет в текущем режиме не только контролировать оптические характеристики синтезируемого материала, но и определять направление процесса синтеза пленок |
Н 61 Низкотемпературное спекание пьезокерамики ЦТС, предназначенной для монолитных многослойных актюаторов / В. В. Еремкин, И. В. Галий, А. В. Нагаенко, А. А. Панич, В. Г. Смотраков, С. Е. Филиппов, Л. А. Шилкина // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 17-21 : табл., граф. - Библиогр.: с. 21 (9 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КЕРАМИКА -- МИКРОСТРУКТУРА -- ПОМОЛ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ -- АКТЮАТОР -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИК Аннотация: Исследовано влияние дисперсности и фазового состава порошков на основе цирконата-титаната свинца, полученных методом химического соосаждения гидроксидов металлов и твердофазным синтезом, на условия спекания, микроструктуру и свойства пьезоэлектрической керамики. Рассмотренные методы синтеза позволяют понизить температуру спекания керамики вплоть до 1000 °С при сохранении высокой пьезоэлектрической активности |
Д 20 Датчик постоянного магнитного поля на основе пьезоэлектрического преобразователя и многовиткового контура с током / А. Г. Итальянцев, Ю. В. Шульга, Ю. К. Фетисов, Д. В. Чашин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 41-45 : рис. - Библиогр.: с. 45 (3 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС-КЕРАМИКА -- СИЛА АМПЕРА -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ -- ЭЛЕМЕНТ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- КОНТУР МНОГОВИТКОВЫЙ Аннотация: Описана новая конструкция магниточувствительной MEMS, принцип действия которой основан на комбинации прямого пьезоэлектрического эффекта и силы Ампера. Теоретически и экспериментально обоснованы физические и конструкционные принципы увеличения чувствительности таких структур к постоянным магнитным полям. Выведено каноническое выражение для чувствительности первичных преобразователей на основе изгибного пьезоэлемента и многовиткового контура с током на резонансной частоте преобразователя. Экспериментально показано, что чувствительность предлагаемых MEMS многократно превышает чувствительность ближайших аналогов и достигает 104 В/(Тл-А) |
В 55 Вишневский, А. С. Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов / А. С. Вишневский, К. А. Воротилов, О. М. Жигалина, А. Н. Ланцев, Ю. В Подгорный, Д. С. Серегин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 1. - С. 15-20 : рис., табл. - Библиогр.: с. 20 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОДЛОЖКИ КРЕМНИЕВЫЕ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ЦТС -- ПРОЦЕСС ТЕРМООБРАБОТКИ -- ПЛЕНКИ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- СТЕКЛО ФОСФОРОСИЛИКАТНОЕ Аннотация: Проведены исследования тонких золь-гель-пленок цирконата-титаната свинца PbZr 0,48Ti 0,52O 3 (ЦТС), сформированных на кремниевых подложках с различными вариантами многослойной структуры Pt /Тi (ТiO 2)/SiO2(ФСС)/Si формирующей нижний электрод сегнетоэлектрического конденсатора. Изучены диффузионные процессы, протекающие в данных гетероструктурах в процессе термообработки, а также роль толщины платины и вспомогательных слоев в формировании кристаллической структуры ЦТС. Установлено, что при кристаллизации ЦТС происходит взаимная диффузия слоев нижнего электрода: нижняя граница Pt размывается, слой Ti (TiO 2) становится толще, Ti диффундирует в Pt и в SiO 2 (ФСС). Использование слоя фосфоросиликатного стекла (ФСС) способствует формированию в пленках ЦТС преимущественной ориентации (100), что ухудшает их поляризационные свойства и ведет к снижению остаточной поляризации до ~10 мкКл/см 2. Нанесение слоя плазмохимического SiO 2 на слой ФСС позволяет стабилизировать границу раздела и улучшить электрические характеристики гетероструктур |
Т 58 Тополов, В. Ю. Особенности пьезоэлектрической анизотропии и гидростатического отклика пористых керамик типа ЦТС / В. Ю. Тополов, С. Е. Филиппов, А. А. Воронцов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 8. - С. 26-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЬЕЗОМОДУЛИ -- ПЬЕЗОКОЭФФИЦИЕНТЫ -- СЕГНЕТОПЬЕЗОКЕРАМИКА ЦТС ПОРИСТАЯ -- ПЬЕЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- ОТКЛИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ГИДРОСТАТИЧЕСКИЙ Аннотация: Проанализированы экспериментальные зависимости анизотропии пьезомодулей, продольных и гидростатических пьезокоэффициентов, а также квадратов параметров приема пористой сегнетопьезокерамики ЦТС-19 от объемной концентрации пор v p. Для объяснения особенностей пьезоэлектрической анизотропии, пьезочувствительности и гидростатического пьезоэлектрического отклика при 0,10 < v p. < 0,55 рассчитаны эффективные параметры системы в рамках модели композита с элементами связности 1—3 и 3—0 |
П 27 Переключаемость перовскитных микрообластей пленок ЦТС, локально отожженных фемтосекундным лазером инфракрасного диапазона / Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 43-47 : граф., рис. - Библиогр.: с. 46 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС -- КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ФЕМТОСЕКУНДНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ -- АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ВТОРАЯ ГАРМОНИКА -- ПЬЕЗООТКЛИК Аннотация: Представлены результаты исследования локальных областей перовскита, сформированного в пленке ЦТС при лазерном отжиге. Особенностью методики является, во-первых, использование фемтосекундных лазерных импульсов, обеспечивающих неинвазивность необлученных областей, а во-вторых, использование длины волны из области прозрачности пленки, не попадающей в область поглощения металлического подслоя |
Л 13 Лавров, П. П. Роль молекулярных добавок в снижении внутренних напряжений в наноструктурных пленках ЦТС, получаемых золь-гель методом / П. П. Лавров, А. В. Корнюхин // Наноматериалы и наноструктуры. - 2014. - Т. 5, № 1. - С. 24-28 : граф., табл. - Библиогр.: с. 28 (24 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС -- ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОД -- МЭМС -- КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ ОРИЕНТАЦИЯ -- ПОЛИМЕРЫ -- ПОЛИВИНИЛПИРРОЛИДОН Аннотация: Представлен анализ влияния молекулярных добавок на толщину и микроструктуру наноструктурированных пленок цирконата-титоната свинца, сформированных золь-гель методом |