И 88 Исследование резонансных характеристик металлических микро- и нанобалок / И. В. Уваров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 45-48 : граф., рис. - Библиогр. : с. 48 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРО- И НАНОБАЛКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- БАЛКИ МНОГОСЛОЙНЫЕ -- ВОЗБУЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ Аннотация: Исследуются резонансные характеристики трехслойных металлических микро- и нанобалок толщиной от 60 до 180 нм. Колебания балок возбуждаются электростатически, регистрация колебаний осуществляется оптическим методом. Получены зависимости резонансных частот балок от геометрических параметров балок. Выполнено сравнение экспериментальных данных с результатами аналитических расчетов и численного моделирования |
Р 24 Расчет и измерения динамических параметров наноразмерных колебаний микро-мембранных элементов / А. А. Ветров, А. В. Корляков, А. Н. Сергушичев, К. А. Сергушичев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 48-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕМБРАННЫЙ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- СИСТЕМА ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ Аннотация: Приведены математическая модель и результаты расчетов параметров микромембранных элементов, изготавливаемых с применением технологий микросистемной техники. Разработана экспериментальная установка на основе волоконно-оптического торцевого интерферометра для высокоточных бесконтактных измерений чувствительности микромембранных элементов. Предложена методика и измерены частотные зависимости чувствительности микромембранных элементов |
У 18 Уваров, И. В. Резонансные свойства многослойных металлических нанокантилеверов / И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 29-32 : рис. - Библиогр.: с. 32 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ -- НАНОКАНТИЛЕВЕРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- СИСТЕМЫ НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- РЫЧАГ СВЕТОВОЙ -- ШЕРОХОВАТОСТЬ Аннотация: Исследованы резонансные свойства трехслойных металлических кантилеверов, имеющих толщину 40 нм. Были изготовлены два типа кантилеверов: Cr—Al—Cr и Ti—Al—Ti. Резонансные частоты кантилеверов определялись по экспериментально полученным резонансным кривым. Возбуждение колебаний кантилеверов осуществлялось электрическими силами, для регистрации колебаний применялся метод светового рычага. Экспериментально получены зависимости первой и второй резонансных частот кантилеверов от длины и ширины. Проведен анализ экспериментальных данных, а также сравнение с результатами расчетов. Обсуждается связь резонансных свойств с формой и материалом нанокантилеверов |