М 31 Масальский, Н. В. Характеристики субмикронного фотонного фазового модулятора на структуре "кремний на изоляторе" / Н. В. Масальский // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 38-42. - Библиогр.: с. 42 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ НАНОФОТОНИКА -- ВОЛНОВОДНАЯ КНИ-СТРУКТУРА -- ШИРОКОПОЛОСНАЯ ФАЗОВАЯ МОДУЛЯЦИЯ Аннотация: Обсуждается перспективный подход для реализации широкополосной оптической модуляции. На основе численных решений исследованы фазовые модуляционные характеристики фотонных модуляторов, выполненных на базе техпроцесса "'кремний на изоляторе". Результаты моделирования хорошо согласуются с экспериментальными данными. На основе численных расчетов показано, что достижимая полоса модуляции составляет более 100 ГГц |