М 73 Многокомпонентные наноструктурированные пленки (SnO2) x (ZnO)1 - x (x = 0,5...1) для газовой сенсорики и прозрачной электроники / С. И. Рембеза, Н. Н. Кошелева, Е. С. Рембеза, Т. В. Свистова, Е. Ю. Плотникова, Б. Л. Агапов, М. В. Гречкина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 32-36 : табл., граф. - Библиогр.: с. 36 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ ПЛЕНКИ -- ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ -- ПРОЗРАЧНОСТЬ -- ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ -- ГАЗОВАЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ Аннотация: Тонкие пленки (SnO 2) x(ZnO) 1 - х, х = 0,5...1, были получены ионно-лучевым распылением на переменном токе керамических мишеней из чистых порошков SnO 2 (99,97) и ZnO (99,97). Изготовлены пленки SnO 2 с содержанием примеси Zn от 0,2 до 14 % ат. После отжига изучена морфология поверхности пленок, оценен размер зерна поликристаллов, измерена прозрачность и определена ширина запрещенной зоны в зависимости от состава пленок. Определены электрические параметры и состав пленок, пригодных для применения в газовой сенсорике и прозрачной электронике. |