Р 24 Расчет и измерения динамических параметров наноразмерных колебаний микро-мембранных элементов / А. А. Ветров, А. В. Корляков, А. Н. Сергушичев, К. А. Сергушичев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 48-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕМБРАННЫЙ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- СИСТЕМА ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ Аннотация: Приведены математическая модель и результаты расчетов параметров микромембранных элементов, изготавливаемых с применением технологий микросистемной техники. Разработана экспериментальная установка на основе волоконно-оптического торцевого интерферометра для высокоточных бесконтактных измерений чувствительности микромембранных элементов. Предложена методика и измерены частотные зависимости чувствительности микромембранных элементов |