П 79 Проектирование электронного носа на основе нанотрубок и ДНК / В. М. Колешко [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: --ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): НОС ЭЛЕКТРОННЫЙ -- ПАВ-СТРУКТУРА -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- НАНОТРУБКА -- ДНК -- АДСОРБЦИЯ -- ВЕЩЕСТВА ВЗРЫВЧАТЫЕ -- ВЕЩЕСТВА ПСИХОТРОПНЫЕ -- ВЕЩЕСТВА НАРКОТИЧЕСКИЕ |
П 32 Пивоненков, Б. И. Новый класс пьезорезистивных микро- и наносенсоров / Б. И. Пивоненков> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 38-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- СЕНСОР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ Аннотация: Предложен новый класс пьезорезистивных сенсоров, обладающих гораздо более высокими характеристиками по сравнению с существующими при более простой технологии их изготовления, описаны конструктивные решения сенсоров нового типа, представлены результаты расчета их характеристик в "объемном" и "планарном" исполнении. Рассматриваемые сенсоры нового типа обеспечивают более высокие основные характеристики (включая возможность уменьшения размеров преобразователя до сотен микрометров), минимальный разброс чувствительности, более простую технологию изготовления и ее совместимость с технологией изготовления схем усиления и обработки сигнала |
Ч-87 Чуйко, О. В. Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 38-40 : рис., табл. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР МАЯТНИКОВЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ Аннотация: Исследуются динамические характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) заданной конструкции, обеспечивающей повышенное воздушное сопротивление. Возбуждение колебаний инерционной массы (ИМ) осуществляется с помощью пьезоэлемента, регистрация колебаний выполняется по отклонению лазерного луча от поверхности ИМ. Получены зависимости резонансной частоты и добротности ЧЭ от давления воздуха в диапазоне от 1 до 105 Па, а также зависимость добротности от размера воздушного зазора между ИМ и подложкой |
Б 90 Бузановский, В. А. Анализ конструкционных и метрологических характеристик газовых наносенсоров с чувствительными элементами на основе углеродных нанотрубок / В. А. Бузановский> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 6-11. - Библиогр.: с. 11 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКА УГЛЕРОДНАЯ -- ХАРАКТЕРИСТИКА МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ -- НАНОСЕНСОР ГАЗОВЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- ХАРАКТЕРИСТИКА КОНСТРУКЦИОННАЯ Аннотация: Проведена систематизация газовых наносенсоров с чувствительными элементами на основе углеродных нанотрубок, результатами которой явилось выделение трех групп и 18 подгрупп этих устройств. Продемонстрированы широкие аналитические возможности названных наносенсоров при определении как органических, так и неорганических химических соединений. Установлены приоритетные направления улучшения метрологических характеристик газовых наносенсоров с чувствительными элементами на основе углеродных нанотрубок |
И 73 Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров / В. В. Пинаев, В. С. Суханов, В. В. Панков, Ю. А. Михайлов, Н. Л. Данилова, С. Ю. Былинкин, А. А. Гаврилов, А. Н. Шипунов> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41 : рис. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ ВРЕМЕННАЯ -- ИСПЫТАНИЯ НА БЕЗОТКАЗНОСТЬ Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков |