Инвентарный номер: нет.        Э 47         Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением / В. А. Швец [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 106-118 : ил. - Библиогр. : с. 117-118 (65 назв.) ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕЦИЗИОННЫЙ МЕТОД -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

Инвентарный номер: нет.        А 16     Абросимова, Н. Д.     Повышение информативности эллипсометрических измерений параметров гетероструктур "кремний-на-диэлектрике" / Н. Д. Абросимова, В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 26-27. - Библиогр.: с. 27 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 УДК 620.3 ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- СТРУКТУРЫ КНД, КНС, КНИ Аннотация: Рассмотрены вопросы контроля приборных слоев полупроводниковых гетероструктур с использованием метода эллипсометрии. Показана информативность разработанных методик

Инвентарный номер: И-13751 - кх.    539.2    E 46         Ellipsometry at the Nanoscale [Text] : сборник / eds. M. Losurdo, K. Hingerl. - Berlin [et al.] : Springer, 2013. - XVIII, 730 p. : il. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-3-642-33955-4 : 11243.00 р. ГРНТИ 29.19 ББК 539.212.6с343.54 Рубрики: ФИЗИКА--КРИСТАЛЛОГРАФИЯ--ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА   Оглавление