Д 72 Драгунов, В. П. Трехэлектродная двухконденсаторная МЭМС со встроенным зарядом / В. П. Драгунов, В. Ю. Доржиев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 33-38. - Библиогр.: с. 38 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЭНЕРГИИ -- ВСТРОЕННЫЙ ЗАРЯД -- ИЗВЛЕЧЕНИЕ ЭНЕРГИИ ИЗ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ -- МИКРОМОЩНЫЙ ГЕНЕРАТОР Аннотация: Представлен анализ особенностей функционирования трехэлектродной двухконденсаторной МЭМС со встроенным зарядом, преобразующей энергию механических колебаний в электрическую. Анализ проводился с учетом взаимного влияния электрических и механических сил. Получены аналитические выражения, позволяющие оценить предельные параметры и рассчитать основные характеристики системы при гармоническом и ступенчатом характере вынуждающей силы. Показано, что такие МЭМС при возбуждении низкочастотными колебаниями могут развивать удельную мощность порядка 10 мкВт/см 2 |