М 74 Мокров , Е. А. Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур [Текст] / Е. М. Белозубов> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66 : рис. - Библиогр.: с. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Термоэлектрические явления в тонкопленочных тензорезисторных датчиках давления при воздействии нестационарных температур и виброускорений [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 6. - С. 33-37 : рис. - Библиогр.: с. 37 (5 назв.)
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ -- ТЕРМО-ЭДС |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, Ю. А. Козлова > // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ВИБРОУСКОРЕНИЯ -- ВЫВОДНОЙ ПРОВОДНИК -- КОНТАКТНАЯ ПЛОЩАДКА -- ЭЛЕКТРОД -- ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: МЕХАНИКА Кл.слова (ненормированные): МЭМС (ТТМЭМС) -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные тензорезисторные микроэлектромеханические системы с идентичными тензоэлементами и мембранами, имеющими жесткий центр / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 38-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА--МЕХАНИКА Кл.слова (ненормированные): ТТМЭМС -- МЭМС ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАЦИОНАРНАЯ |
М 74 Мокров , Е. А. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 31-36 : рис. - Библиогр. : с. 36 (8 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДИЭЛЕКТРИК ДЕФОРМИРУЕМЫЙ Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком с планарными и цилиндрическими электродами. Определены оптимальные соотношения их основных элементов |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком / Е. М. Белозубов> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 48-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (6 назв.)
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДИЭЛЕКТРИК МОНОЛИТНЫЙ Аннотация: Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком. Показаны преимущества и недостатки различных вариантов построения таких систем |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИМЭМС -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕМПЕРАТУРА -- КРИТЕРИЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС |
Б 43 Белозубов, Е. М. Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев , Н. В. Громков> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- НИМЭМС -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов |