Б 44 Беляева, А. О. Моделирование диффузионных процессов через барьерное покрытие в полупроводниковые ветви термоэлектрических модулей / А. О. Беляева, В. А. Солнцев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 2-7 : рис., табл. - Библиогр. : с. 7 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: МАТЕМАТИКА--ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ МАТЕМАТИКА, ЧИСЛЕННЫЙ АНАЛИЗ И ПРОГРАММИРОВАНИЕ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКОЕ -- ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСТВО -- ПОЛУПРОВОДНИК -- ПЕЛЬТЬЕ ЭФФЕКТ -- ТЕЛЛУРИД ВИСМУТА -- ДИФФУЗИЯ |
К 61 Колпаков, А. Я. Влияние отжига в вакууме на внутренние напряжения в углеродных покрытиях, сформированных при различной ориентации подложки относительно оси потока импульсной углеродной плазмы / А. Я. Колпаков, А. И. Поплавский, М. Е. Галкина, А. О. Беляева, Ж. В. Герус // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 25-28. - Библиогр.: с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ -- ОТЖИГ -- АМОРФНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- ДЕФЕКТЫ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ Аннотация: Исследовано влияние вакуумного отжига на значение внутренних напряжений в аморфных углеродных алмазоподобных покрытиях двух типов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом при различной ориентации подложки относительно оси потока углеродной плазмы (DLC-I, DLC-II). Полученные результаты могут быть использованы при выборе режимов термообработки этих покрытий в целях снижения внутренних напряжений, что позволит расширить область применения DLC покрытий в микромеханике и МЭМС |