М 59 Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв. Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала |
Б 88 Бройко, А. П. Анализ теплового состояния микросенсора, созданного на основе тонкопленочных технологий / А. П. Бройко, О. С. Ленчук // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 45-48 : рис. - Библиогр.: с. 48 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСЕР -- СОСТОЯНИЕ ТЕПЛОВОЕ -- ТЕХНОЛОГИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ Аннотация: Представлен анализ теплового состояния микросенсора, изготовленного на основе тонкопленочных технологий. Рассмотрены модельные задачи о стационарном нагреве тонкой мембраны, нестационарном охлаждении тонкой мембраны, минимальной площади сенсора, связанной с флуктуационным пределом. Определено, что для воздуха, если тепловой сенсор работает на максимальных скоростях регистрации (т. е. порядка времени тепловой релаксации), его площадь не может быть меньше 400 нм 2 |
М 59 Микродвижители для микроробототехники / В. Е. Калёнов, А. П. Бройко, А. В. Корляков, И. К. Хмельницкий, Д. А. Чигирев, Ю. О. Быков, А. В. Лагош, А. И. Крот // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 12. - С. 41-46. - Библиогр.: с. 46 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИКА -- МИКРОАКТЮАТОРЫ -- МИКРОРОБОТЫ -- ЭЛЕКТРОАКТИВНЫЕ ПОЛИМЕРЫ Аннотация: Представлены результаты анализа основных микромеханических преобразователей запасенной или внешней индуцируемой энергии в механическое перемещение с учетом возможности их применения в микроробототехнике. Проведено сравнение основных характеристик преобразователей: КПД, развиваемых усилий, перемещений, быстродействия. Обсуждаются результаты исследований преобразователей на основе электроактивных полимеров, перспективных для микроробототехники |