С 25 Свойства наноразмерных углеродных покрытий, легированных азотом, вольфрамом и алюминием, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом / А. Я. Колпаков, А. И. Поплавский [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 3-4. - С. 11-14 : рис., табл. - Библиогр. : с. 14 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОКРЫТИЯ НАНОРАЗМЕРНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- МЕТОД ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ -- СИСТЕМА "ПОДЛОЖКА-ПОКРЫТИЕ" Аннотация: Приведены результаты исследований свойств наноразмерных углеродных покрытий, легированных азотом, вольфрамом и алюминием, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Исследовано влияние легирования на величину внутренних напряжений, микротвердость и морфологию поверхности. Установлено, что легирование наноразмерных углеродных покрытий азотом, вольфрамом и алюминием позволяет влиять на величину внутренних напряжений в них, морфологию поверхности, а также прочностные свойства системы «подложка-покрытие» |
В 58 Влияние степени легирования азотом и толщины на электропроводность и морфологию наноразмерных углеродных покрытий на кремнии / А. Я. Колпаков [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 3-4. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (10 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- ПОКРЫТИЯ НАНОРАЗМЕРНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- СТЕПЕНЬ ЛЕГИРОВАНИЯ АЗОТОМ -- МЕТОД ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ Аннотация: Углеродные покрытия, легированные азотом толщиной до 100 нм, получены на подложках монокристаллического кремния импульсным вакуумно-дуговым методом при напуске азота в вакуумную камеру. Исследована зависимость удельной электропроводности от давления азота. Методом спектроскопии характеристических потерь энергий электронов определяли содержание азота в покрытии и энергию плазмона. Морфологию покрытия исследовали методами сканирующей зондовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Установлен нелинейный характер зависимости удельной электропроводности от давления азота и толщины, а также корреляционная связь между морфологией покрытия, удельной электропроводностью и энергией плазмона. Предложены объяснения полученных результатов |
К 61 Колпаков, А. Я. Влияние отжига в вакууме на внутренние напряжения в углеродных покрытиях, сформированных при различной ориентации подложки относительно оси потока импульсной углеродной плазмы / А. Я. Колпаков, А. И. Поплавский, М. Е. Галкина, А. О. Беляева, Ж. В. Герус // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 25-28. - Библиогр.: с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ -- ОТЖИГ -- АМОРФНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- ДЕФЕКТЫ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ Аннотация: Исследовано влияние вакуумного отжига на значение внутренних напряжений в аморфных углеродных алмазоподобных покрытиях двух типов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом при различной ориентации подложки относительно оси потока углеродной плазмы (DLC-I, DLC-II). Полученные результаты могут быть использованы при выборе режимов термообработки этих покрытий в целях снижения внутренних напряжений, что позволит расширить область применения DLC покрытий в микромеханике и МЭМС |